一臺ASML EUV光刻機多少錢 能累計生產多少塊晶圓

發布時間:2019-12-19 04:36:25來源:網絡

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12月18日最新消息,據了解一臺ASML EUV光刻機能累計生產450萬塊晶圓,但是大家不知道,單單一臺ASML EUV光刻機就要12億元,我們一起來看看這臺ASML EUV光刻機到底有哪些功能。

截至目前,華為麒麟990 5G是唯一應用了EUV極紫外光刻的商用芯片,臺積電7nm EUV工藝制造,而高通剛發布的驍龍765/驍龍765G則使用了三星的7nm EUV工藝。

EUV技術能夠落地商用,背后離不開荷蘭巨頭ASML(阿斯麥),整個EUV光刻機市場已經被他家壟斷,現在的7nm工藝節點如此,未來的5nm、3mm節點也會如此。

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近日,ASML公布了一些有關EUV的有趣數據。

其實早在2013年,ASML EUV光刻機就投用了,但頭幾年一直都是試驗、試產性質,累計300毫米晶圓產量直到2017年才達到110萬塊,2018年又生產了90萬塊,2019年至今累計已達450萬塊,算下來從2016年到現在年復合增長率高達95%。

其實,全球已部署投產的EUV光刻機也沒多少,直到2016才不過區區10臺,2018年增加了17臺,2019年上半年增加了11臺,目前總共38臺。

目前投產的EUV光刻機型號都是NXE:3400B,下半年將迎來新的升級版NXE:3400C,每小時可生產最多175塊300毫米晶圓——2014年的時候可是每小時智能生產10塊左右。

NXE:3400C最大變化是模塊化設計,維護更加便捷,平均維修時間將從48小時縮短到8-10小時,支持7nm、5nm。

一臺ASML EUV光刻機多少錢 能累計生產多少塊晶圓

ASML的下一代EUV光刻機將是EXE:5000系列,面向臺積電3nm、Intel 5nm工藝,引入High NA(高數值孔徑)透鏡,從0.33轉向0.55,以匹配更先進的制造工藝,預計2023年上市。

至于這種EUV光刻機有多貴,據說三星不久前訂購了15臺,總價值3萬億韓元,折合人民幣約180億元,那么一臺就是12億元,堪稱史上最貴半導體設備了。

綜合來看,一臺ASML EUV光刻機能累計生產450萬塊晶元,但是一臺ASML EUV光刻機的成本價格就壓12億元,大家對此有什么看法嗎?歡迎留言。

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